1、敲缸，泵运转时发出不规律的响声，似金属敲打金属的声音。这是旋片在击打泵体发出的声音。这种情况主要是配对旋片间的弹簧断或者是收缩或弹出失效造成的。解决之道：打开泵检查旋片弹簧是否损坏。更换好的弹簧。
2、排气阀片噪音，主要是泵的排气阀片破损。解决之道：更换好的排气阀片。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，2XZ旋片式真空泵，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，耐腐蚀真空泵，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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