旋片式真空泵的维护：
检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。点动电机，试看电机转向是否正确。开动电机，当真空泵正常运转后，无油真空泵，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，不锈钢真空泵，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
真空泵的原理：
电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空（负压），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，2X旋片式真空泵，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，实验用真空泵，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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